光刻機(jī)巨頭ASML稱中企可能侵權(quán)，中企稱關(guān)鍵技術(shù)完全自研

當(dāng)?shù)貢r間2月9日，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)在2021年財報中宣稱，中國企業(yè)東方晶源(Dong Fang JingYuan Electron，DFJY)正在中國積極銷售可能(could potentially)侵犯阿斯麥知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。而阿斯麥所稱的東方晶源關(guān)聯(lián)公司XTAL，曾在2019年被美國法院判定侵犯阿斯麥知識產(chǎn)權(quán)。

觀察者網(wǎng)隨后聯(lián)系了東方晶源，對方工作人員稱暫時不方便回應(yīng)此事。而方面告訴觀察者網(wǎng)，此事與XTAL之前的侵權(quán)案有關(guān)，是年報中的正常披露。阿斯麥正在密切關(guān)注東方晶源的動態(tài)，目前尚未準(zhǔn)備采取法律措施，但如果有確鑿證據(jù)該公司將訴諸法律。

中企稱關(guān)鍵技術(shù)完全自研

據(jù)阿斯麥財報中披露的信息，該公司在2021年初獲悉，一家與XTAL公司有關(guān)的公司正在中國積極推銷可能侵犯阿斯麥知識產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品，2019年XTAL曾因在美國盜取阿斯麥的商業(yè)秘密被判定做出賠償。作為回應(yīng)，阿斯麥已經(jīng)告知客戶不要協(xié)助這家名叫“東方晶源“的中國公司從事此類潛在的侵權(quán)行為。阿斯麥還透露，該公司已向中國監(jiān)管部門告知相關(guān)信息，正在密切監(jiān)測相關(guān)情況，并準(zhǔn)備在適當(dāng)?shù)臅r機(jī)采取法律行動。

阿斯麥2021年財報截圖

觀察者網(wǎng)查詢發(fā)現(xiàn)，東方晶源全稱為東方晶源微電子科技(北京)有限公司，成立于2014年，總部位于北京亦莊經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)，專注于集成電路良率管理。亦莊國投曾披露，東方晶源由中國500強(qiáng)企業(yè)東方集團(tuán)投資控股，而東方集團(tuán)是一家成立于1978年的大型投資控股型民營企業(yè)。

從具體業(yè)務(wù)來看，東方晶源主要產(chǎn)品為納米級電子束缺陷檢測裝備(EBI)和關(guān)鍵尺寸量測裝備(CD-SEM)、計算光刻產(chǎn)品(OPC)以及微電子設(shè)計與制造智能良率優(yōu)化平臺(HPOTM)。該公司稱，其產(chǎn)品均為自主研發(fā)且處于國內(nèi)領(lǐng)先水平，可以有效解決國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)多個難點。

東方晶源官網(wǎng)截圖

而阿斯麥官網(wǎng)顯示，該公司產(chǎn)品除光刻機(jī)之外，也包括用于提高芯片良率和質(zhì)量的計算光刻，“如果沒有計算光刻，芯片制造商就不可能制造出最新的技術(shù)節(jié)點”。

芯謀研究總監(jiān)王笑龍告訴觀察者網(wǎng)，在光刻過程中，光的衍射以及感光層中的物理和化學(xué)效應(yīng)會使光刻機(jī)試圖刻出的圖像變形，因此需要計算光刻進(jìn)行校準(zhǔn)和優(yōu)化。簡單來說，計算光刻類似EDA中的算法，是一種晶圓廠需要購買的服務(wù)，如果曝光圖形跟實際掩膜(Mask)有差異，可以通過計算光刻提前修正掩膜確保得到想要的圖形。一般來說，如果晶圓廠覺得阿斯麥的計算光刻不夠好，也可以選擇第三方提供的產(chǎn)品，二者由此便會形成競爭。

阿斯麥官網(wǎng)截圖

荷蘭媒體無理攻擊中國，遭阿斯麥反對

本次阿斯麥除指控東方晶源可能侵權(quán)外，還特意提到東方晶源與XTAL存在關(guān)聯(lián)，而阿斯麥與XTAL的知識產(chǎn)權(quán)糾紛發(fā)生在數(shù)年之前，彼時還曾引發(fā)一些外媒對中國的無理攻擊。

事情要從2016年說起。當(dāng)年5月，阿斯麥向美國法院起訴美國公司XTAL，指控XTAL盜取阿斯麥美國子公司Brion的某些源代碼和知識產(chǎn)權(quán)，并且稱XTAL誘導(dǎo)和教唆阿斯麥員工在離職前秘密為其工作。

根據(jù)官方介紹，Brion是計算光刻概念的提出者，該公司2007年被阿斯麥?zhǔn)召彙６鳻TAL于2014年由兩名曾在Brion工作過的員工創(chuàng)立，致力于提高半導(dǎo)體制造過程中的良率，業(yè)務(wù)也包括計算光刻。據(jù)當(dāng)時的外媒報道，XTAL在成立后發(fā)展迅猛，而阿斯麥在失去一個關(guān)鍵客戶的合同后開始對XTAL產(chǎn)生懷疑。

Brion相關(guān)介紹

阿斯麥向法院提出的指控稱，在XTAL成立1年后，兩名阿斯麥員工辭職加入該公司，這兩名員工將Brion的商業(yè)機(jī)密復(fù)制到存儲設(shè)備上帶走，用于促進(jìn)XTAL的業(yè)務(wù)，并且他們隨后還與兩名仍在Brion工作的前同事一起竊取機(jī)密信息。

本來企業(yè)之間出現(xiàn)商業(yè)糾紛也很正常，但總有部分外媒想趁機(jī)將此事上升到國家層面。

在這起案件的審理過程中，荷蘭媒體《Financieele Dagblad 》報道稱，XTAL涉案的六名員工全部是中文名字，而且XTAL是中國公司東方晶源的子公司。由此該媒體宣稱這起侵權(quán)案與中國政府有關(guān)系，阿斯麥的技術(shù)可能會落入中國手中，是一起所謂的“國家間諜活動”。

這種說法一出，阿斯麥率先表示反對。2019年4月，該公司發(fā)布官方聲明稱，XTAL及其前員工的目的是利用竊取的商業(yè)秘密和知識產(chǎn)權(quán)發(fā)財致富(enrich themselves)，阿斯麥沒有發(fā)現(xiàn)任何中國政府直接參與此事的證據(jù)。“我們對任何認(rèn)為這起案件會影響阿斯麥在中國開展業(yè)務(wù)的說法表示不滿。其中一些人碰巧是中國公民，但也有其他國家的人參與其中。”

阿斯麥官網(wǎng)截圖

時任中國外交部發(fā)言人陸慷曾指出，中國和荷蘭在科技領(lǐng)域一直保持著良好的合作。我們多次重申，中國政府高度重視知識產(chǎn)權(quán)保護(hù)。我們一向要求海外的中國公民和企業(yè)遵守駐在國法律。至于中國自身，中國的科技發(fā)展一不靠偷，二不靠搶，是中國人民用自己的智慧和汗水，辛勤奮斗出來的。

阿斯麥CEO溫彼得則在一份聲明中稱，該公司對中國致力于尊重和保護(hù)非中國公司的知識產(chǎn)權(quán)感到鼓舞。

不過，阿斯麥當(dāng)時沒有提及XTAL和東方晶源的具體關(guān)系。但該公司披露，XTAL背后的資金來自中國和韓國，其目標(biāo)是創(chuàng)造一種競品出售給阿斯麥在韓國的客戶。阿斯麥同時透露，XTAL竊取的是用于掩模優(yōu)化的軟件，這一業(yè)務(wù)與阿斯麥的主要業(yè)務(wù)是分開的，在該公司年收入中占比不到1%。“因此，媒體關(guān)于阿斯麥核心技術(shù)受到影響的說法是不符合事實的。”

看到抹黑中國被阿斯麥拆臺，部分荷蘭和美國媒體又將矛頭對準(zhǔn)韓國，稱三星涉嫌盜竊商業(yè)機(jī)密。隨后三星發(fā)聲明否認(rèn)指控，阿斯麥方面也聲援三星，稱本次知識產(chǎn)權(quán)遭竊案的主要責(zé)任在于一些前員工。阿斯麥也再次強(qiáng)調(diào)，對荷蘭媒體對所謂是中國政府主導(dǎo)陰謀的持續(xù)猜測感到失望。

阿斯麥官網(wǎng)截圖

2018年11月，美國加州一家法院初步裁定，XTAL盜竊知識產(chǎn)權(quán)的行為是惡意得，阿斯麥指控XTAL的所有五項罪名成立，可依法獲得懲罰性賠償。這五項罪名包括：竊取商業(yè)機(jī)密、誘使ASML前員工違反合同、協(xié)助和教唆前員工違反其對阿斯麥的誠信義務(wù)，以及多次違反加州的計算機(jī)數(shù)據(jù)訪問和欺詐法案。

但一個月后，XTAL申請破產(chǎn)并試圖出售知識產(chǎn)權(quán)，法院只能延遲判決。直到破產(chǎn)法院的程序完成后，圣克拉拉高等法院才在2019年5月做出最終裁決，判定XTAL賠償阿斯麥8.45億美元。但由于XTAL已經(jīng)破產(chǎn)，阿斯麥無法拿到賠償金，只是根據(jù)和解協(xié)議接手了XTAL的大部分知識產(chǎn)權(quán)，而XTAL則被禁止在一段時間內(nèi)繼續(xù)與Brion相同的業(yè)務(wù)。阿斯麥彼時表示，法院判決賠償金的依據(jù)不是該公司受到的實際損害，而是根據(jù)XTAL通過竊取知識產(chǎn)權(quán)和商業(yè)機(jī)密節(jié)省的研發(fā)成本。

在XTAL侵權(quán)一案中，阿斯麥?zhǔn)冀K未提到東方晶源。但阿斯麥中國2月10日告訴觀察者網(wǎng)：“他們之間有關(guān)系是公開信息”。

阿斯麥披露的財報顯示，該公司2021年營收為186億歐元(約合人民幣1339億元)，同比增長33%;凈利潤為59億歐元(約合人民幣425億元)，同比增長66%;毛利率為53%，比上年同期提高4個百分點。 2021年，該公司共出貨309臺光刻機(jī)，比2020年多出51臺;其中極紫外光刻機(jī)42臺，比去年多11臺。

阿斯麥光刻機(jī)出貨信息

截至發(fā)稿，東方晶源尚未對阿斯麥的說法做出回應(yīng)。

2021年8月，東方晶源曾在官網(wǎng)發(fā)布新聞稱，該公司作為國內(nèi)集成電路領(lǐng)域良率管理先鋒企業(yè)，成功榮獲第三批國家級專精特新“小巨人”企業(yè)稱號，其三款核心產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的空白，并且在產(chǎn)業(yè)化方面快速邁進(jìn)，是目前國內(nèi)唯一產(chǎn)線驗證并實現(xiàn)訂單的產(chǎn)品，對我國半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈安全具有戰(zhàn)略意義。該公司還提到，東方晶源自成立以來堅持以創(chuàng)新引領(lǐng)發(fā)展，申報國內(nèi)外發(fā)明專利145項，授權(quán)發(fā)明專利49項，軟件著作權(quán)14項，注冊商標(biāo)15項。

東方晶源官網(wǎng)截圖

2021年9月，東方晶源披露，該公司完成新一輪數(shù)億元股權(quán)融資，本輪融資由賽領(lǐng)資本、深創(chuàng)投領(lǐng)投，眾多知名投資機(jī)構(gòu)聯(lián)合投資。“此輪融資將有助于東方晶源加快在集成電路前道電子束檢測、計算光刻系統(tǒng)等核心產(chǎn)品的研發(fā)進(jìn)程，加速在集成電路良率管理領(lǐng)域的整體布局。”【責(zé)任編輯/周末】

來源：觀察者網(wǎng)

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